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  • 平板显示用光刻胶

     

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    1.特别说明:

    具体型号说明书及相关检测报告请前往下载中心下载。

    2.应用领域:

    平板显示领域的具体应用包括:TN/STN-LCD的ITO电极制作;TP的ITO电极、Mo/Al/Mo Sensor制作;TFT-LCD/OLED的TFT背板制作等。

    3. 技术参数:

    平板显示用光刻胶主要技术参数:

    平板显示用光刻胶系列主要包括:RD-PFR/PFS、RD-PTL500、RD-PTH800等系列,不同系列光刻胶的主要技术参数如下:

    序号

    产品序列

    主要参数

    1

    RD-PFR/PFS系列


    水分:<0.5%颗粒(0.5um颗粒,个/ml)<100;痕量金属(KNaFeppb):<500;膜厚:1.2~2.2um;分辨率:2um(g+h+i曝光)


    2

    RD-PTL500系列


    水分:<0.5%颗粒(0.5um颗粒,个/ml)<100;痕量金属(KNaFeppb):<300;膜厚:1.4~2.2um分辨率:1.5um(g+h+i曝光)


    3

    RD-PTH800系列


    水分:<0.5%颗粒(0.5um颗粒,个/ml)<100;痕量金属(KNaFeppb):<100;膜厚:1.4~2.2um;分辨率:1.5um(g+h+i曝光)


    平板显示用光刻胶主要技术参数:

    平板显示用光刻胶系列主要包括:RD-PFR/PFS、RD-PTL500、RD-PTH800等系列,不同系列光刻胶的主要技术参数如下:


    序号

    产品序列

    主要参数

    1

    RD-PFR/PFS系列


    水分:<0.5%
    颗粒(0.5um颗粒,个/ml)<100
    痕量金属(KNaFeppb):<500
    膜厚:1.2~2.2um
    分辨率:2um(g+h+i曝光)


    2

    RD-PTL500系列


    水分:<0.5%
    颗粒(0.5um颗粒,个/ml)<100
    痕量金属(KNaFeppb):<300
    膜厚:1.4~2.2um
    分辨率:1.5um(g+h+i曝光)


    3

    RD-PTH800系列


    水分:<0.5%
    颗粒(0.5um颗粒,个/ml)<100
    痕量金属(KNaFeppb):<100
    膜厚:1.4~2.2um
    分辨率:1.5um(g+h+i曝光)